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EUV 曝光 原理
2020年12月4日—EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才 ...,2023年3月10日—簡單來說,當工程師規劃好晶圓上各區域的功能後,會將電路圖刻在石英片上面,...
EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
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